5月29日，第 18 期“安全科学论坛”成功举办。本次论坛由安全科学学院助理研究员黄丽达主持，特别邀请云南大学现代工学院助理研究员李绍攀担任主讲嘉宾。

论坛以“飞秒高次谐波技术在先进半导体制程中的重要应用”为主题。李绍攀系统介绍了飞秒激光驱动的高次谐波产生（HHG）技术在桌面尺度上获得短波长、高相干、超快极紫外（EUV）辐射的原理优势，重点分享了基于高次谐波的干涉光刻、超精密镜面检测、掩模/晶圆缺陷表征以及Ptychography相干衍射成像等关键技术。这些技术能够服务于纳米光栅加工、EUV光学元件检测和微纳结构无透镜定量成像，展现出“光源—光刻—检测—成像”平台化的应用潜力。

与会者围绕高次谐波光源在半导体制造中的实际工程挑战、检测精度提升等议题展开热烈讨论。

与会人员合影